一、雙圓裂片式

    雙圓裂片式的多級設(shè)計使得氣體通路相當(dāng)復(fù)雜，并且每一及都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。同時，為了達(dá)到好的真空度，對各級的間隙有非常嚴(yán)格的要求。當(dāng)然，這種設(shè)計由于增加了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。

    二、三葉圓裂片式

    三葉圓裂片式設(shè)計和上述形式設(shè)計的原理相同，只是在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。為了進(jìn)一步降低耗電量，在傳動部分有的廠家選用兩個直流馬達(dá)，但這也會導(dǎo)致扭矩減小，重新啟動的能力—下降。

    三、組合式（羅茨+爪）

    組合式（羅茨+爪）設(shè)計用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率，用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設(shè)計相同。也有些廠家將其一及改為星型設(shè)計，這樣可以在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為五份，就像三圓裂片式設(shè)計可以將其分為三份。

    四、外部壓縮型螺桿式

    在外部壓縮型螺桿式設(shè)計中，使用一對等距螺桿。這使得內(nèi)部壓縮減小，同時使得氣體通路簡單。這樣，氣體在泵體內(nèi)停留的時間也短。這種設(shè)計但在復(fù)雜的半導(dǎo)體工藝中表現(xiàn)出的穩(wěn)定性非常強。

    五、內(nèi)部壓縮型螺桿式

    螺桿間容積的不斷減小使得其內(nèi)部產(chǎn)生壓縮。在很多工藝中，這種內(nèi)部壓縮同多級泵一樣，容易造成氣體在泵體內(nèi)的物理化學(xué)變化而產(chǎn)生固化或液化。

    以上就是有關(guān)無油真空泵五種形式的介紹，根據(jù)其介紹我們可更好的了解設(shè)備的使用及相關(guān)的性能，也可更加方便使我們進(jìn)行設(shè)備型號的選擇。

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