1、抽氣速率:在真空泵的吸氣口處，單位時間內(nèi)流過的氣體體積。傳統(tǒng)工業(yè)用真空泵體積普遍很大，而且泵的工作需要特殊的真空泵油和潤滑機(jī)油，介質(zhì)氣體內(nèi)會含有大量油霧。

2、極限真空(通常稱為真空度) ：將真空泵與檢測容器相連，放入待測的氣體后，進(jìn)行長時間連續(xù)抽氣，當(dāng)容器內(nèi)的氣體壓力不再下降而維持某一定值時，此壓力稱為泵的極限真空。該值越小則表明越接近理論真空。

看了以上的介紹大家應(yīng)該知道無油真空泵真空的含義了吧！

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