無油真空泵是利用某些固體物質(zhì)的多孔性表面，在冷狀態(tài)下對氣體的強(qiáng)烈吸附作用，而使封閉系統(tǒng)獲得10-2毫米水銀柱的低真空的，它是用作無油系統(tǒng)的前級。

無油真空泵所用的吸附物質(zhì)，一般除可用活性碳外，大多使用分子篩(人造沸石)來吸附氣體，獲得真空。因?yàn)?，?dāng)用液氮冷卻后，每一公斤的分子篩，能把50-100升的容器從大氣抽成10-2毫米水銀柱的真空，所以，它是一種吸氣泛很大的泵，而它在經(jīng)過400℃左右的烘烤后，其所吸的氣體就又重新放出(叫做活化或再生)，恢復(fù)再吸氣的能力。目前常用的5A分子篩(吸收容量大，適合排空氣，但需經(jīng)常“活化，，其平均孔徑約為5埃)和13X分子篩(其吸附容且雖比5A分子篩小，但能吸收油蒸汽分子)。

上述就是無油真空泵的結(jié)構(gòu)的介紹了。

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