不同種類的真空泵壓強(qiáng)范圍也不一樣,今天真空泵廠家為您介紹一下。真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。
真空泵種類工作壓強(qiáng)范圍(Pa)起動壓強(qiáng)(Pa)
活塞式真空泵1×105~1.3×1021×105
旋片真空泵1×105—6.7×10-11×105
水環(huán)真空泵1×105—2.7×1031×105
羅茨真空泵1.3×103—1.31.3×103
渦輪分子泵1.3—1.3×10-51.3
水蒸氣噴射泵1×105—1.3×10-11×105
油擴(kuò)散泵1.3×10-2—1.3×10-71.3×10
油蒸氣噴射泵1.3×10—1.3×10-2<1.3×105
分子篩吸附泵1×105—1.3×10-11×105
濺射離子泵1.3×10-3—1.3×10-96.7×10-1
鈦升華泵1.3×10-2—1.3×10-91.3×10-2
鋯鋁吸氣劑泵1.3×10—1.3×10-111.3×10
低溫泵1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1
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